검지/제어 부품

Detection & Control Components

온도 제어 유닛

당사는 일본 KOMATSU 그룹 KELK사의 국내 공식 대리점으로서 독점적 기술 지원을 제공하는 고정밀 온도 제어 솔루션 전문 기업입니다. HIT의 온도 제어 유닛은 KELK의 세계적인 정밀 온도제어 기술을 기반으로, 반도체·디스플레이 웻 프로세스(Wet Process)에 필요한 다양한 온도 영역의 약액·초순수 가열/냉각 솔루션을 제공합니다. 저온 정밀 제어가 필요한 Chemical Circulator부터 고온 대응이 가능한 CS-Heater, 접액부 무오염 설계의 Chemical Heater, 그리고 초순수 전용 가열 시스템인 Hot DIW Unit(DI-Water Heater)까지, 국내 공정 조건에 맞춘 폭넓은 라인업과 철저한 신뢰성을 바탕으로 고객사 장비의 가치를 극대화합니다.

특장점

  • 폭넓은 온도 영역 대응 — 상온 근접 정밀 제어(Chemical Circulator)부터 최대 170℃ 고온 가열(CS-Heater)까지 공정별 최적 모델 선택 가능
  • 무오염(Contamination-free) 설계 — 접액부에 고순도 유리탄소, 불소수지, 고순도 석영유리 등을 사용하여 금속이온 용출·불순물 오염을 원천 차단
  • PID 자동 제어 + 자기진단 기능 — 전 모델 공통으로 정밀 PID 온도제어와 과열·누액·단선 등 이상 자동 감지·경보 기능 탑재
  • 반도체/디스플레이 웻 프로세스 전문 대응 — RCA 세정, 습식 식각, 리소그래피 현상 공정 등에 최적화
  • KOMATSU 그룹 기술력 — 일본 KOMATSU/KELK의 검증된 정밀 온도제어 기술을 정품으로 공급

적용 분야

  • 반도체·Display Wet 프로세스 공정
  • LSI 제조프로세스의 고온가열장치

주요 제품

  • Chemical Circulator (직접 순환식 약액 항온 장치)

  • CS Heater (컴팩트 인라인식 고온 약액 가열 장치)

  • Hot DIW Unit (초순수 가열 장치 / DI-WATER HEATER)

  • Chemical Heater (직접 순환식 약액 가열 장치)