PRODUCT
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제품소개
FPD 장비
Mask Cleaner
Mask Cleaner
Fine Metal Mask Cleaner
· OLED 디스플레이 핵심 장비인 유기물 증착 장비에 사용되는
FMM (Fine Metal Mask) 표면에 증착된 유기물을 세정하는 장비
· Work Size : 4.5G ~ 6.5G
· Dimension : 29,200 * 7,250 * 4,865 (Stocker 제외)
· Process : 9 Bath Type FMM Mask Cleaner + Stocker Type
· Chemical : OMR (NMP & Replacement / 비 위험물, 비 위험성)
HT300 (Acid & Basic Chemical)
IPA (Chemical Dry)
· Control Method : PLC + PC
· 입/출고 시스템, 검사기, 건조기 포함
FMM (Fine Metal Mask) 표면에 증착된 유기물을 세정하는 장비
· Work Size : 4.5G ~ 6.5G
· Dimension : 29,200 * 7,250 * 4,865 (Stocker 제외)
· Process : 9 Bath Type FMM Mask Cleaner + Stocker Type
· Chemical : OMR (NMP & Replacement / 비 위험물, 비 위험성)
HT300 (Acid & Basic Chemical)
IPA (Chemical Dry)
· Control Method : PLC + PC
· 입/출고 시스템, 검사기, 건조기 포함
