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제품소개

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제품소개 반도체장비 CDD Cabinet

CDD Cabinet

CDD (Chemical Distribution Device) Cabinet
· Out-line 약액 (Thinner, HMDS, DEV,DI)을 CCSS (Chemical Central Supply System)에서 공급받아 SPIN UNIT에 정량 분배 공급 하는 장치
· Parts Size : User Spec
· Chemical Supply : CCSS type
· Control method : PLC or PC control