PRODUCT

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제품소개 반도체장비 Tube Cleaner

Tube Cleaner

HWC-ATC (Full Auto Tube Cleaner)
· Quartz tube 및 Quartz boat의 증착된 오염물질 세정
· Equipment type : Full auto tube Cleaner
· Tube Size : User Spec [ 150mm ~ 300mm ]
· Robot Sy’s : 2set [ Robot safety interlock ]
· Front Door : Slide open type
· Chemical Supply : CCSS type
· Control method : PLC control